半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
的项目历史背景
该工厂为中国领先于的半导体器件测封工厂,最靠近珠三边形位置,重点去舒适心片的小学划片和封装形式测试软件。可能本地人的环保必须须严格,工厂决心方案废液零排卸施工。内容于2030年启用,202五年6月建设完工投入运营,加工范围为200吨/日,总注资约2000万是。
生产废水组分及主要来源
该类原则划区化工废水兼备这结构特征:
高溶液酸度氟化物,包括产自晶圆切开后的的洗涤生产工艺,氟阳离子溶液酸度敢达150-200mg/L
包含有纳米技术级硅粉粒子,粒级多在100-500nm直接
有机会载荷较高,COD在500-800mg/L
含有微量分析巨资属如铅、镉等
纯水电导率高,通畅在2000-3000μS/cm
处理生产工艺流程图步骤
为建立零排污总体目标,生产工艺装修设计着重点考虑的焦化废水总类回收利用和网络再生资源利用:
生活污水类别提取软件系统
:将含氟污废水处理工艺 与其它污废水处理工艺 分开用采集而来
生物水解除氟
:主要采用有级钙盐悠长岁月中法,紧密配合便捷悠长岁月中池
高等硫化办理
:什么是臭氧催化钝化钝化化学降解难整理可挥发物
膜浓缩液机系统
:运用DTRO碟管式反构建,萃取度数为10倍
蒸馏心得
:MVR机械化空气压缩视频再压缩视频真空泵器治理 浓水
非常干燥操作系统
:将心得盐干后用于产业副产物设备外售
除理视觉效果
软件运营动态数据体现:
氟化物消除率>99.9%,出水出水氟阳离子<1mg/L
COD总我们要除率>98%,冒水COD<20mg/L
水資源回笼率>95%,仅产生了少量出晶粒盐
几乎每年可回报高的品质回收水约七万吨
沉淀盐色度达成鑫霖环保级标准规定,体现网络污泥处置合理利用
新项目不止进行了污废水 临“0”排放口,还可以通过成本二手回收追求了约80上万元/年的加倍收益率。