半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
大型项目经验
该加工业园聚在一起了十余家半导体芯片对应的制造业企业,设置日外理水平5000吨,要求外理来自五湖四海与众不同的制造业企业的混合型喂养废液。会因为各的制造业企业产量加工异同大,废液化学成分复杂的千变万化,外理困难程度较高。
废污水组成及种类
废污水关键涵盖中国三大类:高防氧化还原电位有机化学化学废污水(光刻胶、成像液等)、含氟废污水(刻蚀加工过程)和酸碱平衡废污水(清洁加工过程)。特定含量涵盖异丙醇、四甲基氢防氧化铵等难分解有机化学化学物,包括氟化物、氯离子等硅化物废弃物物。废污水COD震荡大(500-3000mg/L),氟化物防氧化还原电位100-500mg/L,氯离子50-150mg/L。
治理 方法步奏
用于"定义获取+分质办理+集中式高度办理"的不断创新经营模式:
工厂内总类预除理:含氟污废水 分开收藏并预除理
物流园区污水管道细分输送机软件
综和调接池平衡水体
两极混凝土沉积剔除悬停物和胶体溶液
效率海洋生物表现器(HBR)解决生产环保问题物
活性氧催化剂的作用脱色降解塑料难降解有机酸物
反渗透设备工作会更整体开始脱盐办理
紫外光线空气消毒保障留水防护
格外如何设置了在线视频评估体系和自己投加体系,处置污水水质变化。
终极效果好
操作系统作业四年来,整理功能稳定性信得过。水流COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,化学需氧量<5mg/L,总氮<15mg/L,实现地下水监测Ⅳ类准则,这部分安全使用于科技工业园区造林及冷确塔补充水分,安全使用率小于30%。一年减小生鲜水安全使用约5万吨,为科技工业园区行业可以煤气费千余上万元。