半导体研磨废水怎么处理|半导体研磨废水如何处理
文章来源:hyfwq.com | | 阅读量:19 文章发表准确时间:2026-11-02
投资项目背景图
这项目处在华东城市城市全家人著名品牌半导体行业制作业企业公司,重要的生产8厘米和12厘米晶圆。随产能利用率加快,研磨机工艺程序生成的废需水量从先前的200吨/日加强到350吨/日,原始治疗公用设施已就没有办法能够满足市场需求,且出水量水污染不稳定性,亟待改建和治理焦化废水治疗系统软件。
废污水组分及来原
该公司抛光化工废水关键出自于下面制作工序:
物理厂家磨细设备(CMP)生活污水:具有刺激性二钝化硅、钝化铝等磨细设备小粒,孔径在0.1-1μm超范围
晶圆正面磨研电镀废水:具有刺激性硅粉、黑色金属化合物(铜、铝等)及多量有机会放入剂
切开研磨机污水:具体材质为无定形碳硅颗料和切工油保湿乳
污废水 性状具体表现为:pH值价格波动大(2-11)、悬停物氧化还原电位高(500-2000mg/L)、包含微量分析血本属和难降解塑料物质物,COD基本上在200-500mg/L面积。
净化处理施工工艺工艺程序
所经重复小试和中试,后面判别应用如下办理工学艺:
转换池
:设为pH优酷云检测和自動投药软件系统,将废水处理方法pH维持在6.5-7.5空间
混泥土沉淀物
:加药聚合物氯化铝(PAC)和阴正离子型高密度聚乙烯酰胺(PAM),搭配不起作用后进入斜板奠定池
溶气气浮
:选取一部分出液式溶气气浮,进那步清掉十分细小粉末和橡胶胶体部分物料
多材质筛选
:分为石英晶体砂+催化活性碳两极过滤装置,确保安全有水出SS<10mg/L
膜整理系统化
:主要包括超滤膜(UF)和反渗入(RO)两极,RO浓水分开处里
污泥干化加工处理
:水解随和浮飞灰经板框压滤后建筑垃圾清运代理
至关重要艺因素:混疑分阶段G值管控在60-80s⁻¹,作用时15min;气浮离交柱比30%,驻守时20min;超滤膜通量60LMH,反进行渗透回收处理率75%。
之后的效果
体系加载增强后,有水出水硬度充分做到《电子设备工业品水环保问题物直接排卸基准》(GB39731-2020)很直接排卸规定值标准要求,最主要目标给出:
SS<5mg/L(彻底清除率>99%)
COD<30mg/L(去掉率>93%)
铜铁离子<0.3mg/L
出水出水中水回用率高于65%以下
污泥干化回收利用40% compared to原技术
此项目总投资者约1200万的大写,正常运行成本费约8.5元/吨水,今年可减低工业废水污染物量8万桶,回收并污水从而共享4万桶,经济增长成效和区域成效更为明显。