一、硅料薄片印刷废气情况
硅料切成片是光伏太阳能产业化链中的关健节点,首要牵涉硅锭切开成硅片的的的过程 。该的的过程 中会生成很多工业化气体,其首要化学物质其中包括:
切开烟尘
:硅粉、氢氟酸处理硅粉末等,比表面积很细微(一般而言超过10μm),易悬停于水汽中;
生产废水(VOCs)
:来自五湖四海裁切液溶解,一般物质为聚乙二醇(PEG)、矿产油等;
呈酸性废气
:几瓶HF、HCl等,从何而来于硅料表面层剩余的的化学上产物;
味道空气
:水刀切割液溶解造成的分低子有机肥料物。
工业废气优点和缺点:
高盐浓度尘土
:水刀切割过程中 中尘土生产量大,氧浓度高达200-500mg/m³;
成份僵化
:具备粒子物、VOCs和酸碱性气态,处置难度较高;
进行排放联续
:研发线24个钟头电脑运动,印刷废气净化处理设备需应有继续固定电脑运动能力素质。
二、废气排放正确处理困惑与基本原则
(一)主要重点难点
焊接烟尘黏附性强
:硅粉与切割机液交织而后容易黏附在系统外壁,形成管材不通;
VOCs的还原吸收率标准要求高
:那部分国家让非二氧化氮总烃的排放密度≤50mg/m³;
系统协同管理外理学习能力
:需与此同时达到颗粒剂物、VOCs和呈酸性气休的符合标准进行排放;
作业成本费操纵
:加工建设规模大(排风量一般高出30万m³/h),用电量优化提升是首要。
(二)能力思路
预治疗价段
主要包括
飓风吸尘+湿式喷洒
出掉大粒状粉层;
喷淋清洗液获取NaOH中合呈酸性固体。
重要处置加工制作工艺
便捷脱水
:袋式除灰或工业陶瓷植物纤维过滤水器整理微细煤尘;
VOCs分解
:沸石转轮浸提+RTO(蓄速热式热水器燃燒)或生物炭吸附剂+催化反应燃燒;
淬硬层净化系统
:生物学洗滌塔清掉残余偏酸汽体。
智力化管控
进行安装再线检测机系统(PID、FID等)实时交通改善进行因素;
采取变頻送风机大幅度降低耗电。
三、典型实例详细分析
情况一:深圳某光伏发电笼头企业的硅料薄片气体污染治理该项目
顶目原型
:
的产线范围:总产量3GW硅片;
废气量:15万m³/h;
主要的污染物质:硅粉(300mg/m³)、PEG类VOCs(150mg/m³)。
满足规划
:
加工步骤流程
:
6级补救:风暴降尘+碱液自喷塔(的还原90%大粒子烟尘及HF);
两级处理:纳米级食物纤维滤筒除尘系统器(有害气体尾气排放≤10mg/m³);
一级清理:沸石转轮精浓(精浓比15:1)+RTO(VOCs删去率≥99%)。
企业创新点
:
运用
防黏附耐磨涂层滤筒
,彻底解决硅粉空气能管道堵塞相关问题;
RTO余热回收利用于切除液进行加热,年可以天然植物气130万m³。
操作治疗效果
:
粒状物尾气排放:<8mg/m³;
VOCs的排放:<20mg/m³;
控制系统高能耗变低18%。