该晶圆产量制造九正通明应用于华中省市,具体产量制造89英寸半导体行业晶圆,单日化工废水排卸物量约800吨。是由于产量制造整个过程中的使用大规模盐酸实行晶圆蚀刻,造成的化工废海里氟化物浓度值到达200-300mg/L,远超欧洲国家排卸物标准规范(10mg/L以下的)。
污废水 材质及主要来源
废气通常来自五湖四海三阶段:
晶圆蚀刻制作工艺
:含高氧化还原电位氟化物(HF)、盐酸及多量高价属
检查是否机械设备制造抛光剂(CMP)化工废水
:含nm级硅颗粒物、可挥发络合剂
设配清理废水处理方法
:含异丙醇、氯离子等生物碳物
清理生产技术具体流程
用"电学放置+混凝土放置+纵深滤出"三阶段加工处理系统性:
6级处置
:添加氯化钙和氢氧化反应钙,演变成氟化钙析出,氟化物删去率达85%
三级操作
:增加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),消除悬浊液态危害物
四级处理
:确认多物料过滤清洁器和活性氧炭过滤,满水后氟化物浓硫酸浓度比较稳定在8mg/L一些
主要装置以及:pH自行调接体系、斜管沉垫池、板框带式压滤机(生活污水脱干)。
决定性成效
大型项目启动三年期探测数据文件呈现:
氟化物均浓度值:7.2mg/L(不超过欧洲国家行业标准单位)
COD避开率:92%
污泥干化含水分率:≤65%
年收集氟化钙副新产品约150吨,完成影视综合运用运用