过程概貌 某8屏幕尺寸晶圆厂刻蚀工艺流程呈现含氟废气（最主要有效成分为HF、NH4F），设计制作办理规模性200m³/d，耍求实现了水收废用率≥90%，氟化物收废用率＞80%。 污水水质特征 氟化物浓度值等度大（50-5000mg/L） 含硅粒状及废金属正离子（Al³⁺、Cu²⁺） 氟化物含氧量高（300-800mg/L） 加工过程施工工艺工作亮点 划分整理体统 ： 高盐浓度生产废水（＞1000mg/L）多个流入沉淀收购 设备 低酸度废污水入驻常用加工线 主要治理单园 ： 旋流反馈器快速的放置氟化钙 多效挥发器精炼氟化铵液体 冷却沉淀光催化原理高纯氟化铵品牌 回收利用系统的 ： 反渗透装置性膜+反渗透装置性双膜法产水循环 浓水应用于园区抑尘 经济实惠技术应用指数公式 氟化物总合回收利用率82% 吨水除理利润下降至18.7元 年回收利用氟化铵服务350吨 纯净水回收率92.3% 氟化学工业电镀废水解决关键性新技术汇报总结 电学沉淀自己法 推广基本原则： 钙盐加药量需管控Ca²⁺:F⁻=1.05-1.1（摩尔比） 响应pH值精确度高把控好在10.5-11.5范围内 深度的除理技术设备 比选： 生物被氧化铝粉：符合于＜20mg/L的深层次外理 反渗：满足低氧浓度含氟废液 电团结：净化处理高难易可挥发氟废水处理 资原化方向上 ： 氟化钙悠长岁月中要加工被人造萤石 氟化铵悬浊液纯化后循环于生产加工 利用氟软件金钱价格多达3000-5000/吨 注：现场工程建设中需会根据水质标准基本特性来小试确定好最合适工艺设计技术指标，提议首先注意分质治理与无限循环利于设计。