工程时代背景
伤害某半导厂出产具体步骤中一同产生高硅生活污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟生活污水(F⁻ 200-300mg/L)。两个生活污水相混时易造成氟硅酸橡胶胶体部分,经典化学悠长岁月中法不可相对稳定不合格。工程必须发送到删去硅和氟(排放量基准:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废水处理方法含量及来自
最主要有效成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
源于
:晶圆刻蚀废水处理处理方法、CMP磨研废水处理处理方法、机械设备清洁水
办理工艺设计程序流程
联合沉淀物中关键期
:
多级反应迟钝池
:
1、级污泥脱水Ca(OH)₂自动生成CaF₂和CaSiO₃沉淀出的;
第二点级污泥脱水PAC(聚合反应氯化铝)强化木纹地板斜管沉淀池。
固液剥离步骤
:
反渗透膜设备
:主要采用0.02μm粒径膜控件挤占电解质溶液硅和微细放置物。
深层脱氟周期
:
特异性脱色铝吸附性塔
:多余氟铝离子活性炭吸附剔除。
最中成果
出液SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远高于国家地区规定。
超滤膜系统通量不稳在15LMH,物理化学洗掉时期增长至60天。
工业废水经压滤后水分含量率<65%,可按普遍固体废物处理加工。