某半导心片生产厂在晶圆粗加工时中，使用的硅烷确定硅外延性成长，氮氧化合物清洗塔呈现高含铁含硅工业废污水。工业废污水享有pH动荡大（2-11）、硅含铁高的基本特征，过去进行处理步骤易出来硅垢堵住问題。 工业废水物质及源于 化工废水其主要组成成分为： 溶解完性硅酸盐 ：SiO₂氧浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢钝化钠 ：洗衣塔强酸强碱洗衣液残留物 颗料硅 ：纳米级级SiO₂悬浊液 痕量砷 ：辅料溶物带进去 操作工艺步骤流程步骤流程 的创新选择"多级结合+膜过滤水+蒸馏析出"艺： 3级采和 ：用CaO缓解pH至4-5，转换成硅酸钙乳浊液，硅的还原率60%。 下级中合 ：加Na₂CO₃将pH加强至9，进一点沉垫剩的硅，串连用镁剂除砷。 超滤膜系統 ：0.02μm卫浴陶瓷膜过滤系统nm级硅小粒，通量可靠在80LMH。 MVR多效冷凝器 ：溶缩高盐工业废水，晶体出Na₂SO₄副的产品，水回收率超90%。 之后视觉效果 总硅从1500mg/L降为5mg/L之下 砷分子量从0.8mg/L降为0.01mg/L 机系统无积灰电脑运行高于2年 每次环保再生资源回收氢氧化钾钠晶状体约800吨